Digital Piezo Translators
デジタル・ピエゾ・トランスレータ
デジタル・ピエゾ・トランスレータ(DPT)は、クインズゲートの最先端非接触容量センサを搭載する、閉ループの完全集積ピエゾ電子アクチュエータです。当社の定評あるスーパーインバール・ナノセンサには、他の歪みゲージ閉ループ・アクチュエータでは得られない直線性、再現性、分解能および安定性があります。当社のデジタルコントローラとの併用で、容量センサは、最大0.02%の直線性、1nm未満の再現性を有し、アクチュエータおよびコントローラとの完全な互換性があります。すべてのDPTには、コントローラが使用する較正情報を保存するEEPROMが搭載されています。また、真空互換オプションやさまざまなメカニカル・インターフェースもあります。
• スーパーインバールとゼロデュア構造
• 最大100 μmの範囲
• 容量ナノセンサ搭載
• コントローラとの互換性
• 高精度の取付インターフェース
DPT-C-L
- The Digital Piezo Translator (DPT) is a piezoelectric translation device capable of moving up to 70μm with very high linearity and essentially perfect repeatability. The hysteresis is less than a nanometer.
DPT-C-M
- The Digital Piezo Translator (DPT) is a piezoelectric translation device capable of moving up to 35μm with very high linearity and essentially perfect repeatability. The hysteresis is less than a nanometer.
DPT-C-S
- The Digital Piezo Translator (DPT) is a piezoelectric translation device capable of moving up to 15μm with very high linearity and essentially perfect repeatability. The hysteresis is less than a nanometer.