顕微鏡対物フォーカスステージ
OSM-Z-100Bは最新のDual Sensor Technology(デュアルセンサ技術)を搭載した世界初のナノメカニズムで、顕微鏡検査自動化における当社の究極のソリューションです。OSMは力学、精密度およびフォーカス安定性の点で、業界トップの性能を達成しました。現在、全移動距離が100μmを超えるピアゾステージで、ステップおよび整定時間が4ms未満でサブ-nmの分解能を得ることができます。
スーパーインバール容量ナノセンサは、ナノメートルレベルで、優れた分解能、再現性および安定性を保証します。低い軸外誤差と非常に高い剛性が、この先進デザインをさらに強化します。特許申請中のDual SensorTechnology(デュアルセンサ技術)をサポートする、コンパクトで便利なパッケージの新しいNPC-A-1110DSモジュールを含めて、アナログおよびデジタルでSM-Z-100Bを制御する製品を各種用意しています。
• 業界スタンダードの3倍のスピード
• Dual Sensor Technology(デュアルセンサ技術)搭載
• クインズゲート・ナノセンサ・ポジショニング性能
• 工具不要取り付けのアダプタ
• 高いフォーカス安定性を持つスーパーインバール構造